НОВОСТИ / РОССИЯВ РФ разработана линейка роботизированных комплексов, способных контролировать качество микроэлектроники на разных этапах производства. Новейшие системы ориентированы на поиск брака с высокой точностью: минимальный обнаруживаемый дефект может составлять всего 3 микрона, при этом скорость проверки достигает 1 квадратного сма в секунду.
По словам старшего инженера АО «ЦКБ „Дейтон“» Вячеслава Малышева, в основу интеллектуальной системы легло программное обеспечение на базе отечественных нейросетей, обученных более чем на 6000 изображений. Благодаря алгоритмам машинного обучения комплексы адаптируются к новым видам продукции и нормативным требованиям, а также автоматически обновляют библиотеки дефектов.
Сейчас в линейке представлено 3 типа устройств. Первый из них предназначен для сканирования чипов, уложенных на подложку с ячейками. Второй вариант — система для контроля кремниевых пластин, анализирующая поверхность в круговом формате и изменяющая угол обзора. Третий и наиболее совершенный комплекс организован по принципу конвейера и позволяет в реальном времени сортировать изделия: годные — на ленту, дефектные — на доработку, а брак — на выбраковку.
Комплексы оснащены камерами и микроскопами с разрешением до 3 микрон. Размеры исследуемых объектов варьируются от 0,1 до 300 мм. Аппаратура фиксирует трещины, сколы, царапины, перекосы, пыль, следы химикатов и другие отклонения, возникающие при нарушении технологического цикла. Все данные о проверке протоколируются, проводится расчет выхода годных изделий и выявляются участки, требующие коррекции.
Разработка активно проходит опытную эксплуатацию на российских предприятиях и, по оценке специалистов, уже показывает превосходство над аналогичными решениями компаний MEK Marantz Electronics (Япония), Koh Young Technology (Южная Корея) и Jutze Intelligence Technology Co. (Китай).
Как пояснил «Известиям» генеральный директор ГК ST IT и эксперт направления TechNet НТИ Антон Аверьянов, ключевым преимуществом комплекса стала его модульность и быстрая интеграция в производственные процессы. В дальнейшем планируется расширение возможностей комплексов за счет внедрения сенсоров, работающих в инфракрасном, ультрафиолетовом и ультразвуковом диапазонах.
Ранее российские учёные закончили ключевой этап строительства термоядерного реактора. Также исследователи создали прибор, который обнаруживает ракеты по инфракрасному излучению.