Результаты исследования с такими зеркалами будут востребованы в задачах создания, например, коллекторов рентгеновского излучения для установок проекционной литографии, отметили в ИПФ РАН.
МОСКВА, 4 марта. Специалисты ФИЦ «Институт прикладной физики им. А. В. Гапонова-Грехова РАН» (ИПФ РАН) разработали первые в РФ высокоточные зеркала из кремния для мощных источников синхротронного излучения, рассказали ТАСС в ИПФ РАН.
По информации пресс-службы, ученые отдела рентгеновской оптики Института физики микроструктур РАН (филиал ФИЦ ИПФ РАН) разработали технологию изготовления высокоточных зеркал на основе монокристаллического кремния, с помощью которой изготовили зеркала. «Они (зеркала — прим. ТАСС) представляют собой сверхгладкие плоские и криволинейные поверхности из кристаллического кремния с шероховатостью на атомарном уровне и с точностью формы до 1 нм», — говорится в сообщении.
Отмечается, что высокоточные зеркала из кремния востребованы на установках, где ожидаются высокие тепловые нагрузки, например, на станциях синхротронов 4-го поколения и лазерах на свободных электронах, к которым относятся введенный в строй в Новосибирске СКИФ и строящийся в Подмосковье СИЛА. «Это первая в РФ оптика, способная выдерживать мощные пучки рентгеновского излучения без ухудшения качества отраженных волновых фронтов, а также получать сфокусированные пучки размером в сотни нанометров», — говорится в сообщении.
Планируется научиться создавать такие сверхточные зеркала с размерами порядка одного метра и повысить точность до 0,5 нм. «Это еще больше расширит возможности исследователей на синхротронных станциях. Кроме того, результаты исследования будут востребованы в задачах создания, например, коллекторов рентгеновского излучения для установок проекционной литографии».
Исследования проведены в рамках грантов РНФ (№ 21−72−30029) и ФНТП «Синхротронные и нейтронные исследования».